ATW200

差动型光纤位移仪

产品概要

无需对电极的反射率校准! 差动型光纤位移仪

ATW200、差动型光纤位移仪。是根据光纤量程,除去测量物的反射率变化的影响。

适用于SPM的悬臂位移测量·压电陶瓷产品的位移测量·LCD玻璃的位移测量·硬盘磁头的振动分析等微小位移测量。

测量头很小,也适用于透明体的测量。



本产品由于输出贸易管理规定有可能不能销售,请事先谅解。
ATW200

ATW200的特点

■  3MHz的响应性能! 适用于超声波振动器和高频率振动的测量。

■  由于是测量实际位移,不是测量速度,低频的微小变化也可测量!

■  设定简单!不需要通常光纤位移测量仪的对电极反射率校准。将探头靠近对电极,只需按下CAL开关就可开始测定。

■  有可变低通滤波!


应用案例

应用案例

ATW200的原理

原理

ATW200测量探头,是在多束光纤的中心配置照射纤维(Illum natingFiber),并且在中心的周围配置受光纤维A(Receiving FiberA),和受光纤维B(Receiving FiberB)。

从光源射出的光线射入受光纤维,射入光通过在光纤内进行重复全反射从而到达测量端,对电极呈圆锥状射出。

对电极的反射光,成为测量探头上的光环,对受光纤维A和B进行投射。

式

如图1所示,光环的直径与探测端到测量物之间的距离g(间隙)呈比例变化。根据直径的变化获得受光纤维A及B入射的光量PA,PB的差。

图2对相应于g的PA,PB的变化模式进行表示。 PA,从窄的间隙上升,而PB是在一定的间隙后上升。图中PB-PA的WR所示部分是能够进行位移测量的部分。在WR的领域下PB+PA几乎不变化。

PB-PA和PB+PA都与对电极的反射率成比例,但是,(PB-PA)/(PB+PA)则不依存于对电极的反射率值。 ATW200采用模拟除法器,除去对电极的反射率的影响。

图3所示是透明材料的光路。如果里面反射的光是在XB外侧,里面不受干扰。与激光的高强度光作用,对玻璃等透明体表面也可准确地检测。

技术参数

放大器
型号 ATW200
方式 直流放大型
响应性能(Hz)
设定响应频率
100、1K、10K、100K、1M、PASS (3M)
放大倍率 1倍、2倍、5倍、10倍、20倍、50倍
显示 4 1/2位数字电压表示
模拟输出 ±10VDC
电源电压 AC 100V 50/60Hz 或DC24V 1.2A
使用环境 0~45℃  20~85%RH(无结露)
 
插件模块
模块NO. ATP201
光源 SLD(超级发光二极管)(λ=830nm)
纤维长度 1m(标准)
尖端探头外径(mmφ) 1.2
探头尖端耐热温度* 0~150℃ (探头的耐热温度是使用环境,而不是精度保证。)
测量点直径(mmφ) 约0.1
测量范围(μm) 约20
距离(μm) 约80
基本灵敏度(μm/V) 约2
 
灵敏度表(nm/mV)
倍率 ATP201
×1 2
×2 1
×5 0.4
×10 0.2
×20 0.1
×50 0.04
 

● 也可进行光纤线延长,或者防止前端弯曲加工等特殊加工。请咨询商谈。

● 以上特性是平均值的表示。由探头制作的差异,有产生差异的可能。