预计未来全球对半导体的需求将不断增加,例如汽车半导体和人工智能市场等。 尤尼帕斯公司提供多种传感器产品,可在半导体制造、检验、服务等各种工艺中使用。 本期我们将介绍静电容量方式的非接触位移计“PS-IA”。 PS-IA是尤尼帕斯采用独有的静电容技术所制造的一种超精密非接触式位移计,实现了高稳定性、高分辨率和通用性。 它以亚纳米分辨率测量金属(导体)与测量探头之间的距离。 建议将PS-IA用于下列半导体制造工艺中: ● 硅晶片厚度测量 通过定制特殊形状的探头,使其便于嵌入设备中。 ● 硅晶片平面度测量 静电容量方式是平面度测量中最常用的方法。 ● 硅晶片边缘检测 通过测量探头对平行于硅片表面的固定间隙进行扫描,检测硅片的边缘位置。 ● 绝缘体厚度测量 用于测量探头与GND之间空隙中的绝缘体厚度。 还可以与定位装置相结合使用,用于测量绝缘薄膜厚度分布,以及掌握成膜装置的清洁时机等。 ● 绝缘体介电常数测量 在已知厚度的情况下,也可用于测量绝缘涂层的介电常数。 ● 用于超精密定位平台的反馈传感器 适用于需要纳米级分辨率、高精度和高稳定性的定位。 ● 电机定子的间隙测量 静电容量方式不受电磁感应影响,因此可在高磁场中测量间隙、位置和振动等。 ● 气泡测量 利用液体和气泡的介电常数差,可测量液体中的气泡率。 推荐使用 PS-IA 的理由如下: 1.可确保导体检测 PS-IA采用的静电电容方式不易受到测量面表面粗糙度的影响,因此即使是有图案的表面也能进行测量,而光学位移传感器则很难做到这一点。 该系统还可以检测硅晶片。也可用于硅片边缘的检测。 2.适用于真空环境(*需特殊定制) 在成膜、蚀刻等各种工艺中使用的真空装置。PS-IA的探头具有低挥发性,也可以根据真空环境需求进行定制。 3.适用于高温环境(*需特殊定制) 在硅晶圆表面氧化工艺或薄膜成膜(CVD)过程中,制造设备内部通常处于高温状态。 PS-IA可以根据需要进行特殊定制以适应高温环境。 4.探头形状可定制(*需特殊定制) PS-IA 传感器探头可以根据实际需求进行定制。也可以制作易于嵌入半导体设备的超薄型传感器探头。 双面探头可以对微小间隙进行定量测量和管理,也可用于平板电极间的间隙测量和管理。 定制探头示例: 5.高稳定性、低噪音的稳定位置检测 具有±0.05%以下的高线性度,以及0.002%FS(rms)以下的低噪音,可实现稳定的位置检测。 6.日本制造,品质可靠 PS-IA 由日本制造,品质稳定。 薄膜厚度测量演示 静电容量方式非接触位移计"PS-IA"产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
预计未来全球对半导体的需求将不断增加,例如汽车半导体和人工智能市场等。 尤尼帕斯公司提供多种传感器产品,可在半导体制造、检验、服务等各种工艺中使用。 本期我们将介绍静电容量方式的非接触位移计“PS-IA”。
PS-IA是尤尼帕斯采用独有的静电容技术所制造的一种超精密非接触式位移计,实现了高稳定性、高分辨率和通用性。 它以亚纳米分辨率测量金属(导体)与测量探头之间的距离。 建议将PS-IA用于下列半导体制造工艺中: ● 硅晶片厚度测量 通过定制特殊形状的探头,使其便于嵌入设备中。 ● 硅晶片平面度测量 静电容量方式是平面度测量中最常用的方法。 ● 硅晶片边缘检测 通过测量探头对平行于硅片表面的固定间隙进行扫描,检测硅片的边缘位置。 ● 绝缘体厚度测量 用于测量探头与GND之间空隙中的绝缘体厚度。 还可以与定位装置相结合使用,用于测量绝缘薄膜厚度分布,以及掌握成膜装置的清洁时机等。 ● 绝缘体介电常数测量 在已知厚度的情况下,也可用于测量绝缘涂层的介电常数。 ● 用于超精密定位平台的反馈传感器 适用于需要纳米级分辨率、高精度和高稳定性的定位。 ● 电机定子的间隙测量 静电容量方式不受电磁感应影响,因此可在高磁场中测量间隙、位置和振动等。 ● 气泡测量 利用液体和气泡的介电常数差,可测量液体中的气泡率。 推荐使用 PS-IA 的理由如下: 1.可确保导体检测 PS-IA采用的静电电容方式不易受到测量面表面粗糙度的影响,因此即使是有图案的表面也能进行测量,而光学位移传感器则很难做到这一点。 该系统还可以检测硅晶片。也可用于硅片边缘的检测。 2.适用于真空环境(*需特殊定制) 在成膜、蚀刻等各种工艺中使用的真空装置。PS-IA的探头具有低挥发性,也可以根据真空环境需求进行定制。 3.适用于高温环境(*需特殊定制) 在硅晶圆表面氧化工艺或薄膜成膜(CVD)过程中,制造设备内部通常处于高温状态。 PS-IA可以根据需要进行特殊定制以适应高温环境。 4.探头形状可定制(*需特殊定制) PS-IA 传感器探头可以根据实际需求进行定制。也可以制作易于嵌入半导体设备的超薄型传感器探头。 双面探头可以对微小间隙进行定量测量和管理,也可用于平板电极间的间隙测量和管理。 定制探头示例: 5.高稳定性、低噪音的稳定位置检测 具有±0.05%以下的高线性度,以及0.002%FS(rms)以下的低噪音,可实现稳定的位置检测。 6.日本制造,品质可靠 PS-IA 由日本制造,品质稳定。 薄膜厚度测量演示 静电容量方式非接触位移计"PS-IA"产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
PS-IA是尤尼帕斯采用独有的静电容技术所制造的一种超精密非接触式位移计,实现了高稳定性、高分辨率和通用性。 它以亚纳米分辨率测量金属(导体)与测量探头之间的距离。
建议将PS-IA用于下列半导体制造工艺中:
● 硅晶片厚度测量 通过定制特殊形状的探头,使其便于嵌入设备中。 ● 硅晶片平面度测量 静电容量方式是平面度测量中最常用的方法。
● 硅晶片边缘检测 通过测量探头对平行于硅片表面的固定间隙进行扫描,检测硅片的边缘位置。 ● 绝缘体厚度测量 用于测量探头与GND之间空隙中的绝缘体厚度。 还可以与定位装置相结合使用,用于测量绝缘薄膜厚度分布,以及掌握成膜装置的清洁时机等。 ● 绝缘体介电常数测量 在已知厚度的情况下,也可用于测量绝缘涂层的介电常数。 ● 用于超精密定位平台的反馈传感器 适用于需要纳米级分辨率、高精度和高稳定性的定位。 ● 电机定子的间隙测量 静电容量方式不受电磁感应影响,因此可在高磁场中测量间隙、位置和振动等。 ● 气泡测量 利用液体和气泡的介电常数差,可测量液体中的气泡率。 推荐使用 PS-IA 的理由如下: 1.可确保导体检测 PS-IA采用的静电电容方式不易受到测量面表面粗糙度的影响,因此即使是有图案的表面也能进行测量,而光学位移传感器则很难做到这一点。 该系统还可以检测硅晶片。也可用于硅片边缘的检测。 2.适用于真空环境(*需特殊定制) 在成膜、蚀刻等各种工艺中使用的真空装置。PS-IA的探头具有低挥发性,也可以根据真空环境需求进行定制。 3.适用于高温环境(*需特殊定制) 在硅晶圆表面氧化工艺或薄膜成膜(CVD)过程中,制造设备内部通常处于高温状态。 PS-IA可以根据需要进行特殊定制以适应高温环境。 4.探头形状可定制(*需特殊定制) PS-IA 传感器探头可以根据实际需求进行定制。也可以制作易于嵌入半导体设备的超薄型传感器探头。 双面探头可以对微小间隙进行定量测量和管理,也可用于平板电极间的间隙测量和管理。 定制探头示例: 5.高稳定性、低噪音的稳定位置检测 具有±0.05%以下的高线性度,以及0.002%FS(rms)以下的低噪音,可实现稳定的位置检测。 6.日本制造,品质可靠 PS-IA 由日本制造,品质稳定。 薄膜厚度测量演示 静电容量方式非接触位移计"PS-IA"产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
● 硅晶片边缘检测 通过测量探头对平行于硅片表面的固定间隙进行扫描,检测硅片的边缘位置。
● 绝缘体厚度测量 用于测量探头与GND之间空隙中的绝缘体厚度。 还可以与定位装置相结合使用,用于测量绝缘薄膜厚度分布,以及掌握成膜装置的清洁时机等。 ● 绝缘体介电常数测量 在已知厚度的情况下,也可用于测量绝缘涂层的介电常数。 ● 用于超精密定位平台的反馈传感器 适用于需要纳米级分辨率、高精度和高稳定性的定位。 ● 电机定子的间隙测量 静电容量方式不受电磁感应影响,因此可在高磁场中测量间隙、位置和振动等。 ● 气泡测量 利用液体和气泡的介电常数差,可测量液体中的气泡率。 推荐使用 PS-IA 的理由如下: 1.可确保导体检测 PS-IA采用的静电电容方式不易受到测量面表面粗糙度的影响,因此即使是有图案的表面也能进行测量,而光学位移传感器则很难做到这一点。 该系统还可以检测硅晶片。也可用于硅片边缘的检测。 2.适用于真空环境(*需特殊定制) 在成膜、蚀刻等各种工艺中使用的真空装置。PS-IA的探头具有低挥发性,也可以根据真空环境需求进行定制。 3.适用于高温环境(*需特殊定制) 在硅晶圆表面氧化工艺或薄膜成膜(CVD)过程中,制造设备内部通常处于高温状态。 PS-IA可以根据需要进行特殊定制以适应高温环境。 4.探头形状可定制(*需特殊定制) PS-IA 传感器探头可以根据实际需求进行定制。也可以制作易于嵌入半导体设备的超薄型传感器探头。 双面探头可以对微小间隙进行定量测量和管理,也可用于平板电极间的间隙测量和管理。 定制探头示例: 5.高稳定性、低噪音的稳定位置检测 具有±0.05%以下的高线性度,以及0.002%FS(rms)以下的低噪音,可实现稳定的位置检测。 6.日本制造,品质可靠 PS-IA 由日本制造,品质稳定。 薄膜厚度测量演示 静电容量方式非接触位移计"PS-IA"产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
● 绝缘体厚度测量 用于测量探头与GND之间空隙中的绝缘体厚度。 还可以与定位装置相结合使用,用于测量绝缘薄膜厚度分布,以及掌握成膜装置的清洁时机等。 ● 绝缘体介电常数测量 在已知厚度的情况下,也可用于测量绝缘涂层的介电常数。 ● 用于超精密定位平台的反馈传感器 适用于需要纳米级分辨率、高精度和高稳定性的定位。
● 电机定子的间隙测量 静电容量方式不受电磁感应影响,因此可在高磁场中测量间隙、位置和振动等。 ● 气泡测量 利用液体和气泡的介电常数差,可测量液体中的气泡率。 推荐使用 PS-IA 的理由如下: 1.可确保导体检测 PS-IA采用的静电电容方式不易受到测量面表面粗糙度的影响,因此即使是有图案的表面也能进行测量,而光学位移传感器则很难做到这一点。 该系统还可以检测硅晶片。也可用于硅片边缘的检测。 2.适用于真空环境(*需特殊定制) 在成膜、蚀刻等各种工艺中使用的真空装置。PS-IA的探头具有低挥发性,也可以根据真空环境需求进行定制。 3.适用于高温环境(*需特殊定制) 在硅晶圆表面氧化工艺或薄膜成膜(CVD)过程中,制造设备内部通常处于高温状态。 PS-IA可以根据需要进行特殊定制以适应高温环境。 4.探头形状可定制(*需特殊定制) PS-IA 传感器探头可以根据实际需求进行定制。也可以制作易于嵌入半导体设备的超薄型传感器探头。 双面探头可以对微小间隙进行定量测量和管理,也可用于平板电极间的间隙测量和管理。 定制探头示例: 5.高稳定性、低噪音的稳定位置检测 具有±0.05%以下的高线性度,以及0.002%FS(rms)以下的低噪音,可实现稳定的位置检测。 6.日本制造,品质可靠 PS-IA 由日本制造,品质稳定。 薄膜厚度测量演示 静电容量方式非接触位移计"PS-IA"产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
● 电机定子的间隙测量 静电容量方式不受电磁感应影响,因此可在高磁场中测量间隙、位置和振动等。 ● 气泡测量 利用液体和气泡的介电常数差,可测量液体中的气泡率。
推荐使用 PS-IA 的理由如下: 1.可确保导体检测 PS-IA采用的静电电容方式不易受到测量面表面粗糙度的影响,因此即使是有图案的表面也能进行测量,而光学位移传感器则很难做到这一点。 该系统还可以检测硅晶片。也可用于硅片边缘的检测。 2.适用于真空环境(*需特殊定制) 在成膜、蚀刻等各种工艺中使用的真空装置。PS-IA的探头具有低挥发性,也可以根据真空环境需求进行定制。 3.适用于高温环境(*需特殊定制) 在硅晶圆表面氧化工艺或薄膜成膜(CVD)过程中,制造设备内部通常处于高温状态。 PS-IA可以根据需要进行特殊定制以适应高温环境。 4.探头形状可定制(*需特殊定制) PS-IA 传感器探头可以根据实际需求进行定制。也可以制作易于嵌入半导体设备的超薄型传感器探头。 双面探头可以对微小间隙进行定量测量和管理,也可用于平板电极间的间隙测量和管理。 定制探头示例: 5.高稳定性、低噪音的稳定位置检测 具有±0.05%以下的高线性度,以及0.002%FS(rms)以下的低噪音,可实现稳定的位置检测。 6.日本制造,品质可靠 PS-IA 由日本制造,品质稳定。 薄膜厚度测量演示 静电容量方式非接触位移计"PS-IA"产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
推荐使用 PS-IA 的理由如下:
1.可确保导体检测 PS-IA采用的静电电容方式不易受到测量面表面粗糙度的影响,因此即使是有图案的表面也能进行测量,而光学位移传感器则很难做到这一点。 该系统还可以检测硅晶片。也可用于硅片边缘的检测。 2.适用于真空环境(*需特殊定制) 在成膜、蚀刻等各种工艺中使用的真空装置。PS-IA的探头具有低挥发性,也可以根据真空环境需求进行定制。 3.适用于高温环境(*需特殊定制) 在硅晶圆表面氧化工艺或薄膜成膜(CVD)过程中,制造设备内部通常处于高温状态。 PS-IA可以根据需要进行特殊定制以适应高温环境。 4.探头形状可定制(*需特殊定制) PS-IA 传感器探头可以根据实际需求进行定制。也可以制作易于嵌入半导体设备的超薄型传感器探头。 双面探头可以对微小间隙进行定量测量和管理,也可用于平板电极间的间隙测量和管理。 定制探头示例:
5.高稳定性、低噪音的稳定位置检测 具有±0.05%以下的高线性度,以及0.002%FS(rms)以下的低噪音,可实现稳定的位置检测。 6.日本制造,品质可靠 PS-IA 由日本制造,品质稳定。 薄膜厚度测量演示 静电容量方式非接触位移计"PS-IA"产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
5.高稳定性、低噪音的稳定位置检测 具有±0.05%以下的高线性度,以及0.002%FS(rms)以下的低噪音,可实现稳定的位置检测。 6.日本制造,品质可靠 PS-IA 由日本制造,品质稳定。
薄膜厚度测量演示
静电容量方式非接触位移计"PS-IA"产品页面
如需了解更多信息,请随时与我们联系。
用测力传感器测量的荷重数据可以简单的用电脑取进去。FS10是内置放大器的测力仪。因为经由USB供给电源,所以可以简单地布线。可以简单监控数据并记录。小巧的手掌大小携带也很方便。FS10包含主机、传感器电缆1m(散线)、USB电缆1.8m(A-miniB型)、说明书。只需USB连接即可简单测量提供免费的测量软件。通过端子台连接传感器和FS10更方便。使用另售的CN92的话,连接会更方便。