预计未来全球对半导体的需求将不断增加,例如汽车半导体和人工智能市场等。 尤尼帕斯公司提供多种传感器产品,可在半导体制造、检验、服务等各种工艺中使用。 轴式扭矩检测的推荐产品,旋转式扭矩传感器UTM系列的新型号“UTMⅢ”,在半导体制造、检查的现场应用实例也有很多! 在半导体制造工序的硅晶圆的加工和检查等过程中,都要求要达到微米级的精密定位。保持晶片的精密XY平台采用滚珠丝杠,可以实现高速且高精度的定位。 在半导体制造的制膜和研磨等设备中,由于设备内部的沉淀物和不需要的膜的堆积,有时会对内部的驱动设备施加过大的力,或者精度下降。 如果用UTMⅢ监测驱动马达的扭矩,就可以根据扭矩的上升趋势,提前知道设备保养的时间点,可以有计划的安排设备保养,还可以减少生产线的停线时间。 UTMⅢ系列是一款适用于需要高精度扭矩检测的旋转扭矩传感器。最小容量是0.05Nm,细微扭矩值都可以正确检测和评价。 具有高响应性、高精度、高刚性的同时,受径向力、轴向力、高速旋转时的精度的影响都很小,而且又是小巧型的设计,容易组装到机械设备中。 另外可以用于以下的工艺。 ● 可以检测出硅晶圆研磨加工时的砂轮的堵塞。 可以把握合适的加工时间。 ● 通过切割加工的扭矩管理,防止刀片的破损或工件的碎屑等不良。 ● 在组装工艺中对拧紧扭矩的管理。 尤尼帕斯的位移传感器、力传感器、扭矩传感器等多种传感器产品可以在半导体制造、检查、服务等各种工艺中使用。 也可以借用样机。请随时联系我司销售人员。 不旋转扭矩传感器“UTMⅢ”产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
预计未来全球对半导体的需求将不断增加,例如汽车半导体和人工智能市场等。 尤尼帕斯公司提供多种传感器产品,可在半导体制造、检验、服务等各种工艺中使用。 轴式扭矩检测的推荐产品,旋转式扭矩传感器UTM系列的新型号“UTMⅢ”,在半导体制造、检查的现场应用实例也有很多!
在半导体制造工序的硅晶圆的加工和检查等过程中,都要求要达到微米级的精密定位。保持晶片的精密XY平台采用滚珠丝杠,可以实现高速且高精度的定位。 在半导体制造的制膜和研磨等设备中,由于设备内部的沉淀物和不需要的膜的堆积,有时会对内部的驱动设备施加过大的力,或者精度下降。 如果用UTMⅢ监测驱动马达的扭矩,就可以根据扭矩的上升趋势,提前知道设备保养的时间点,可以有计划的安排设备保养,还可以减少生产线的停线时间。 UTMⅢ系列是一款适用于需要高精度扭矩检测的旋转扭矩传感器。最小容量是0.05Nm,细微扭矩值都可以正确检测和评价。 具有高响应性、高精度、高刚性的同时,受径向力、轴向力、高速旋转时的精度的影响都很小,而且又是小巧型的设计,容易组装到机械设备中。 另外可以用于以下的工艺。 ● 可以检测出硅晶圆研磨加工时的砂轮的堵塞。 可以把握合适的加工时间。 ● 通过切割加工的扭矩管理,防止刀片的破损或工件的碎屑等不良。 ● 在组装工艺中对拧紧扭矩的管理。 尤尼帕斯的位移传感器、力传感器、扭矩传感器等多种传感器产品可以在半导体制造、检查、服务等各种工艺中使用。 也可以借用样机。请随时联系我司销售人员。 不旋转扭矩传感器“UTMⅢ”产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
在半导体制造工序的硅晶圆的加工和检查等过程中,都要求要达到微米级的精密定位。保持晶片的精密XY平台采用滚珠丝杠,可以实现高速且高精度的定位。
在半导体制造的制膜和研磨等设备中,由于设备内部的沉淀物和不需要的膜的堆积,有时会对内部的驱动设备施加过大的力,或者精度下降。 如果用UTMⅢ监测驱动马达的扭矩,就可以根据扭矩的上升趋势,提前知道设备保养的时间点,可以有计划的安排设备保养,还可以减少生产线的停线时间。 UTMⅢ系列是一款适用于需要高精度扭矩检测的旋转扭矩传感器。最小容量是0.05Nm,细微扭矩值都可以正确检测和评价。 具有高响应性、高精度、高刚性的同时,受径向力、轴向力、高速旋转时的精度的影响都很小,而且又是小巧型的设计,容易组装到机械设备中。 另外可以用于以下的工艺。 ● 可以检测出硅晶圆研磨加工时的砂轮的堵塞。 可以把握合适的加工时间。 ● 通过切割加工的扭矩管理,防止刀片的破损或工件的碎屑等不良。 ● 在组装工艺中对拧紧扭矩的管理。 尤尼帕斯的位移传感器、力传感器、扭矩传感器等多种传感器产品可以在半导体制造、检查、服务等各种工艺中使用。 也可以借用样机。请随时联系我司销售人员。 不旋转扭矩传感器“UTMⅢ”产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
在半导体制造的制膜和研磨等设备中,由于设备内部的沉淀物和不需要的膜的堆积,有时会对内部的驱动设备施加过大的力,或者精度下降。 如果用UTMⅢ监测驱动马达的扭矩,就可以根据扭矩的上升趋势,提前知道设备保养的时间点,可以有计划的安排设备保养,还可以减少生产线的停线时间。 UTMⅢ系列是一款适用于需要高精度扭矩检测的旋转扭矩传感器。最小容量是0.05Nm,细微扭矩值都可以正确检测和评价。 具有高响应性、高精度、高刚性的同时,受径向力、轴向力、高速旋转时的精度的影响都很小,而且又是小巧型的设计,容易组装到机械设备中。 另外可以用于以下的工艺。
● 可以检测出硅晶圆研磨加工时的砂轮的堵塞。 可以把握合适的加工时间。 ● 通过切割加工的扭矩管理,防止刀片的破损或工件的碎屑等不良。 ● 在组装工艺中对拧紧扭矩的管理。
尤尼帕斯的位移传感器、力传感器、扭矩传感器等多种传感器产品可以在半导体制造、检查、服务等各种工艺中使用。 也可以借用样机。请随时联系我司销售人员。 不旋转扭矩传感器“UTMⅢ”产品页面 如需了解更多信息,请随时与我们联系。
尤尼帕斯的位移传感器、力传感器、扭矩传感器等多种传感器产品可以在半导体制造、检查、服务等各种工艺中使用。 也可以借用样机。请随时联系我司销售人员。
不旋转扭矩传感器“UTMⅢ”产品页面
如需了解更多信息,请随时与我们联系。
用测力传感器测量的荷重数据可以简单的用电脑取进去。FS10是内置放大器的测力仪。因为经由USB供给电源,所以可以简单地布线。可以简单监控数据并记录。小巧的手掌大小携带也很方便。FS10包含主机、传感器电缆1m(散线)、USB电缆1.8m(A-miniB型)、说明书。只需USB连接即可简单测量提供免费的测量软件。通过端子台连接传感器和FS10更方便。使用另售的CN92的话,连接会更方便。